书目详细信息
： Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing II V.2876
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2274-6:￥80.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing II V.2876/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin, Texas:,SPIE:,1996.10 |
| 载体形态项： | 258页 |
| 一般附注： | SPIE‘s microelectronic manufacturing |
| 个人名称等同： | SPIE |