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书目详细信息： Emerging lithographic technologies IX V.5751(part 2-2)

ISBN/价格：	0-8194-5731-0:RMB
作品语种：	eng
题名责任者项：	Emerging lithographic technologies IX V.5751(part 2-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.3
载体形态项：	629-1244p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050728

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