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书目详细信息： MEMS,MOEMS,and micromachining II V.6186

ISBN/价格：	0-8194-6242-X:RMB370
作品语种：	eng
题名责任者项：	MEMS,MOEMS,and micromachining II V.6186/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2006.4
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060921

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