书目详细信息
： 22nd annual bacus symposium on photomask technology V.4889(part 2-2)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4675-0:RMB0.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | 22nd annual bacus symposium on photomask technology V.4889(part 2-2)/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2002.10 |
| 载体形态项： | 759-1338p:;+28cm |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4889(part 2-2) |
| 记录来源： | CN 20030716 |