书目详细信息
： MEMS &MOEMS:technology and applications
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3716-6:￥821.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | MEMS &MOEMS:technology and applications/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2000 |
| 载体形态项： | 520p:;+26cm |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE |
| 题名主题： | Microelectromechanical system |
| 题名主题： | Optoelectronic devices |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 20081014 |