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书目详细信息： Interferometric metrology V.816

ISBN/价格：	0-89252-851-6:￥288.93
题名责任者项：	Interferometric metrology V.816/.by SPIE
出版发行项：	San Diego:,SPIE:,1987.8
载体形态项：	239页:;+16开
记录来源：	CN 20061108

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