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书目详细信息： MEMS,MOEMS,and micromachining III Vol.6993

ISBN/价格：	0-8194-7191-8:RMB240
作品语种：	eng
题名责任者项：	MEMS,MOEMS,and micromachining III Vol.6993/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2008.4
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20081224

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