书目详细信息
： Lithography for semiconductor manufacturing II V.4404
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4105-8:1159.10元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Lithography for semiconductor manufacturing II V.4404/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.6 |
| 载体形态项： | 422页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4404 |
| 记录来源： | CN 20011209 |