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书目详细信息： Emerging lithographic technologies V V.4343

ISBN/价格：	0-8194-4029-9:1819.00元
作品语种：	eng
出版国别：	CN
题名责任者项：	Emerging lithographic technologies V V.4343/.By SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2001.2
载体形态项：	818页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.4343
记录来源：	CN 20020312

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