书目详细信息
： 19th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents V.5148
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-5018-9:RMB708.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | 19th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents V.5148/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2003 |
| 载体形态项： | 264p:;+28cm |
| 记录来源： | CN 20031205 |