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书目详细信息： Design,test,integration,and packaging of MEMS/MOEMS 2001 V.4408

ISBN/价格：	0-8194-4109-0:1320.00元
题名责任者项：	Design,test,integration,and packaging of MEMS/MOEMS 2001 V.4408/.By SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2001.4
载体形态项：	558页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.4408
记录来源：	20011111

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