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书目详细信息： MEMS/MOEMS technologies and applications V.4928

ISBN/价格：	0-8194-4717-X:RMB998.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	MEMS/MOEMS technologies and applications V.4928/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2002.10
载体形态项：	302p:;+fig.:;+28cm
记录来源：	CN 20040226

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