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书目详细信息： Lasers in microlithography V.774

ISBN/价格：	0-89252-809-5:￥200.39
题名责任者项：	Lasers in microlithography V.774/.by SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1987.3
载体形态项：	192页:;+16开
一般附注：	SPIE‘s symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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