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书目详细信息： 23rd annual BACUS symposium on photomask technology V.5256(part2-2)

ISBN/价格：	0-8194-5143-6:RMB0.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	23rd annual BACUS symposium on photomask technology V.5256(part2-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2003.6
载体形态项：	701-1362p:;+ill.:;+26cm
记录来源：	CN 20040510

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