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书目详细信息： Cat-CVD方法低温制备多晶硅薄膜的技术研究

ISBN/价格：	80.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220100
题名责任者项：	Cat-CVD方法低温制备多晶硅薄膜的技术研究/.张玉著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2007.3
载体形态项：	52页:;+图:;+29cm
个人名称等同：	张玉著
记录来源：	CN 20070926

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