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书目详细信息： Micromachining and microfabrication process technology IX V.5342

ISBN/价格：	0-8194-5250-5:RMB855.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Micromachining and microfabrication process technology IX V.5342/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.1
载体形态项：	276p:;+ill.:;+26cm
记录来源：	CN 20040824

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