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书目详细信息： Optical microlithography XVI V.5040(part 3-2)

ISBN/价格：	0-8194-4845-1:RMB0.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical microlithography XVI V.5040(part 3-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2003
载体形态项：	667-1246p:;+28cm
记录来源：	CN 20031205

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