书目详细信息
： Developments in semiconductor microlithography IV V.174
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-202-X:￥90.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Developments in semiconductor microlithography IV V.174/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1979.4 |
| 载体形态项： | 194页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | OPTICAL LIHOGRAPHY |
| 题名主题： | INTEGRATED CIRCUIT |
| 题名主题： | OPTICAL TEST |
| 题名主题： | IMAGE FORMATION |
| 记录来源： | CN 20061110 |