书目详细信息
： Semiconductor microlithography V V.221
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-250-X:￥94.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Semiconductor microlithography V V.221/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1980.3 |
| 载体形态项： | 204页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | OPTICAL SYSTEMS |
| 题名主题： | THIN FILMS |
| 题名主题： | SEMICONDUCTOR MATERIALS |
| 记录来源： | CN 20061113 |