书目详细信息
： Submicrometer metallization: the challenges, opportunities, and limitations V.1805
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1003-9:￥450.84 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Submicrometer metallization: the challenges, opportunities, and limitations V.1805/.SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1993.2 |
| 载体形态项： | 344页 |
| 一般附注： | SPIE symposium on Microelectronic processin |
| 个人名称等同： | SPIE |