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书目详细信息： Modeling aspects in optical metrology II Vol.7390

ISBN/价格：	0-8194-7673-9:RMB520
题名责任者项：	Modeling aspects in optical metrology II Vol.7390/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2009.6
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20100422

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