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书目详细信息： Advanced techniques for integrated circuit processing II V.1803

ISBN/价格：	0-8194-1001-2:￥604.67
题名责任者项：	Advanced techniques for integrated circuit processing II V.1803/.SPIE
出版发行项：	San Jose:,SPIE:,1992.9
载体形态项：	404页
一般附注：	Microelectronic processing ‘92
个人名称等同：	SPIE

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