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书目详细信息： Nano-and micro-metrology V.5858

ISBN/价格：	0-8194-5858-9:RMB380
作品语种：	eng
题名责任者项：	Nano-and micro-metrology V.5858/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.6
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060112

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