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书目详细信息： Optical/laser microlithography V.1927 part2-1

ISBN/价格：	0-8194-1161-2:￥1000.00
题名责任者项：	Optical/laser microlithography V.1927 part2-1/.SPIE
出版发行项：	San Jose:,SPIE:,1993.3
载体形态项：	510页
一般附注：	SPIE symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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