书目详细信息
： Selected papers on optical microlithography V. MS 55
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0986-3:651.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | USA |
| 题名责任者项： | Selected papers on optical microlithography V. MS 55/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1992 |
| 载体形态项： | 676页:;+16开 |
| 丛编项： | SPIE milestone series V. MS 55 |
| 题名主题： | semiconductros-design and construction microlithography masks(electronics) |
| 记录来源： | CN 20020712 |