书目详细信息
： Lithography process control V. TT 28
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3052-8:547.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | USA |
| 题名责任者项： | Lithography process control V. TT 28/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999 |
| 载体形态项： | 190页:;+16开 |
| 丛编项： | SPIE tutorial texts in optical engineering V. TT 28 |
| 题名主题： | semiconductros-etching microlithography-tuality control |
| 记录来源： | CN 20020711 |