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书目详细信息： 全息光栅曝光光学系统优化及光栅掩模参数控制方法研究

ISBN/价格：	80.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220100
题名责任者项：	全息光栅曝光光学系统优化及光栅掩模参数控制方法研究/.韩建著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2012.5
载体形态项：	129页:;+图:;+29cm
个人名称等同：	韩建著
记录来源：	CN 20120810

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