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书目详细信息： Collopuium on electron beam lithography the impact o microelectronics

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《Collopuium on electron beam lithography the impact o microelectronics》

ISBN/价格：	RMB0.6
题名责任者项：	Collopuium on electron beam lithography the impact o microelectronics
出版发行项：	1980
记录来源：	CN 20070809

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