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书目详细信息： Advances in metrology for X-ray and EUV optics II V.6704

ISBN/价格：	0-8194-682-9:RMB240
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advances in metrology for X-ray and EUV optics II V.6704/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2007.8
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20080314

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