书目详细信息
： 20th Annual BACUS symposium on photomask technology V.4186
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3849-9:1760.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | 20th Annual BACUS symposium on photomask technology V.4186/.SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2000.9 |
| 载体形态项： | 938页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4186 |
| 记录来源： | CN 20010810 |