书目详细信息
： Instrumentation,Metrology,and Standards for Nanomanufacturing,Optics,and Semiconductors VIII Vol.917
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-1-6284-1200-0:RMB130 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Instrumentation,Metrology,and Standards for Nanomanufacturing,Optics,and Semiconductors VIII Vol.9173/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2014.4 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20130603 |