书目详细信息
： Photomask and X-ray mask technology V V.3412
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2864-7:￥232.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Photomask and X-ray mask technology V V.3412/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1998.4 |
| 载体形态项： | 616页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3412 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3412 |
| 一般附注： | 光掩模及X射线掩模技术 (V) |
| 个人名称等同： | SPIE |