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书目详细信息： Optical microlithography II technology for the 1980s V.394

ISBN/价格：	0-89252-429-4:95.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Optical microlithography II technology for the 1980s V.394/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1983
载体形态项：	251页:;+16开
记录来源：	CN 20010714

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