书目详细信息
： Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography V.MS 178
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-5166-5:RMB1536.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography V.MS 178/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2004 |
| 载体形态项： | 875p:;+ill.:;+28cm |
| 一般附注： | SPIE milestone series;V.MS178 |
| 题名主题： | integrated circuits microlithography photolithography semiconductors design and construction etching |
| 记录来源： | CN 20050110 |