书目详细信息
： 半导体制造工艺基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-81110-292-5:RMB23.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 340100 |
| 题名责任者项： | 半导体制造工艺基础/.[美]施敏，梅凯瑞编著/.柯导明，孟坚译 |
| 出版发行项： | 合肥:,安徽大学出版社:,2007.4 |
| 载体形态项： | 284页:;+图:;+26cm |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 个人名称等同： | [美]施敏 编著 |
| 个人名称等同： | 梅凯瑞 编著 |
| 个人名称次要： | 柯导明 译 |
| 个人名称次要： | 孟坚 译 |
| 记录来源： | CN 20081031 |