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书目详细信息： 薄膜溅射技术手册

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《薄膜溅射技术手册》

ISBN/价格：	7-:￥20.00
题名责任者项：	薄膜溅射技术手册/.浦树德编译
版本项：	1
出版发行项：	成都:,西南技术物理研究所:,1993.3
载体形态项：	175页:;+16开
题名主题：	薄膜溅射
题名主题：	溅射技术
题名主题：	溅射工艺设备
个人名称等同：	浦树德编译
记录来源：	/ /

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