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书目详细信息： Advances in resist technology and processing XX V.5039(part 2-1)

ISBN/价格：	0-8194-4844-3:RMB1947.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advances in resist technology and processing XX V.5039(part 2-1)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2003
载体形态项：	654p:;+28cm
记录来源：	CN 20031205

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