书目详细信息
： 18th european conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents V.4764
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4531-2:RMB760.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | 18th european conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents V.4764/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2002.1 |
| 载体形态项： | 256页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4764 |
| 记录来源： | 20030126 |