书目详细信息
： Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection V.811
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-846-X:￥200.39 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection V.811/.by SPIE |
| 出版发行项： | The hague:,SPIE:,1987.4 |
| 载体形态项： | 211页:;+16开 |
| 一般附注： | International symposium on optical and optoelectronic applied science and engineering |
| 记录来源： | CN 20061108 |