书目详细信息
： 21st annual BACUS symposium on photomask technology V.4562 part2-1
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4290-9:1984.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | USA |
| 题名责任者项： | 21st annual BACUS symposium on photomask technology V.4562 part2-1/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.10 |
| 载体形态项： | 502页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4562 part2-1 |
| 记录来源： | CN 20020711 |