书目详细信息
： Optical/laser microlithography V.922
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-957-1:￥298.25 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical/laser microlithography V.922/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1988.2 |
| 载体形态项： | 486页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | MASK |
| 题名主题： | LASER LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | PROJECTION SYSTEM |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 记录来源： | CN 20061201 |