书目详细信息
： Microelectronic structures and MEMS for optical processing IV V.3513
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2972-4:￥99.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Microelectronic structures and MEMS for optical processing IV V.3513/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1998.9 |
| 载体形态项： | 240页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3513 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3513 |
| 一般附注： | 光学处理中的微电子结构与微电机械系统 (IV) |
| 个人名称等同： | SPIE |