ISBN/价格: | 0-8194-2972-4:¥99.00 |
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题名责任者项: | Microelectronic structures and MEMS for optical processing IV V.3513/.SPIE |
版本项: | 1 |
出版发行项: | Bellingham:,SPIE:,1998.9 |
载体形态项: | 240页:;+16开 |
丛编项: | Proceedings of SPIE V.3513 |
丛编项: | Proceedings of SPIE V.3513 |
一般附注: | 光学处理中的微电子结构与微电机械系统 (IV) |
个人名称等同: | SPIE |