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书目详细信息： Micromachined devices and componentsVI V.4176

ISBN/价格：	0-8194-3832-4:RMB715.00
作品语种：	en
出版国别：	CN
题名责任者项：	Micromachined devices and componentsVI V.4176/. SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2000.9
载体形态项：	282页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE. V.4176
记录来源：	CN 20010320

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