书目详细信息
： Electron-beam,x-ray,EUV,and ion-beam submicrometer lithographies for manufacturing V V.2437
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1785-8:180.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Electron-beam,x-ray,EUV,and ion-beam submicrometer lithographies for manufacturing V V.2437/.SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1995 |
| 载体形态项： | 450页:;+16开 |
| 记录来源： | CN 20010716 |