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书目详细信息： EUV波段Mo/Si多层膜反射镜和AI滤光片辐照特性

ISBN/价格：	80.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220170
题名责任者项：	EUV波段Mo/Si多层膜反射镜和AI滤光片辐照特性/.范鲜红著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2008.4
载体形态项：	107页:;+图:;+29cm
个人名称等同：	范鲜红著
记录来源：	CN 20080711

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