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书目详细信息： Microelectronic device and multilevel interconnection technology V.2636

ISBN/价格：	0-8194-2002-6:￥154.00
题名责任者项：	Microelectronic device and multilevel interconnection technology V.2636/.SPIE
出版发行项：	Austin:,SPIE:,1995.10
载体形态项：	326页
一般附注：	Microelectronic manufacturing
个人名称等同：	SPIE

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