书目详细信息
： Reliability,Packaging,Testing,and Characterization of MOEMS/MEMS,Nanodevices,and NanomaterialsXIII V
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-0-8194-9888-5:RMB130 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Reliability,Packaging,Testing,and Characterization of MOEMS/MEMS,Nanodevices,and NanomaterialsXIII Vol.8975/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2014.2 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20130603 |