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书目详细信息： Diffractometry and scatterometry V.1991

$《Diffractometry and scatterometry V.1991》$

ISBN/价格：	0-8194-1240-6:￥1000.00
题名责任者项：	Diffractometry and scatterometry V.1991/.SPIE
出版发行项：	Warsaw, Poland:,SPIE:,1993.5
载体形态项：	268页
一般附注：	International conference on diffractometry scatterometry
个人名称等同：	SPIE

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