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书目详细信息： Optical Microlithography XIII. V.4000

ISBN/价格：	0-8194-3618-6:2332.10元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 110000
题名责任者项：	Optical Microlithography XIII. V.4000/. SPIE
出版发行项：	Santa clara:,SPIE:,2000.3
载体形态项：	1622页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.4000
记录来源：	CN 2001120

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