书目详细信息
： 微光学和纳米光学制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-39448-8:CNY66.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微光学和纳米光学制造技术/.(美)Shanalyn A. Kemme编著/.周海宪，程云芳译 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 196页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 国际信息工程先进技术译丛 |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Microoptics and nanooptics fabrication |
| 提要文摘： | 本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。 |
| 并列题名： | Microoptics and nanooptics fabrication eng |
| 题名主题： | 微光技术 教材 |
| 题名主题： | 纳米材料 应用 光学元件 制造 教材 |
| 题名主题： | 微光技术 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 题名主题： | 光学元件 |
| 个人名称等同： | 凯米 (美) (Kemme, Shanalyn A.) 编著 |
| 个人名称次要： | 周海宪 译 |
| 个人名称次要： | 程云芳 译 |
| 记录来源： | CN 20141216 |